1.仪器的基本信息：
仪器名称：扫描电子显微镜
英文名：Scanning Electron Microscope
型号：Hitachi S-3400N
产地：日本
购买时间：2013年
存放地点：微纳加工与生物医学工程中心电镜间
管理人员：张正涛
联系电话：027-84223798转208
2.仪器的用途：
Hitachi S—3400N型扫描电子显微镜，主要用于对材料的微观形貌、组织和成分进行有效分析。
3.仪器的性能指标：
1）分辨率
二次电子探头：≤3.0 nm（在30kV，高真空模式)，≤10 nm（在3 kV，高真空模式)；被散射探头：≤4.0 nm（在30kV，低真空模式)。
2）加速电压：0.3kV～30kV连续可调。
3）放大倍数：最低倍率5倍，最高倍率300,000倍。
4）真空系统
①具有低真空功能，高低真空切换，不需要安装压差光阑；
②真空度：高真空不低于0.1 mPa；低真空（压力范围）：10 Pa—270 Pa；
5）电子光学系统
①电子枪：钨灯丝，具有自动偏压+4级偏压功能；
②聚光镜光阑完全安装在长内衬管内，可自行更换聚光镜光阑。
6）样品室和样品台
①样品台尺寸：装载直径≥200 mm样品；
②样品台（五轴样品台，2轴马达驱动功能）；
③ 行程：X=100 mm；Y=50 mm；Z=50 mm；R=3600；T=-20～+900；
6）探测器及成像系统
① 二次电子探测器：二次电子像；高灵敏5分割背散射电子探测器：成分像、形貌像和三维像；
②成像模式：同时得到二次电子像，背散射电子像，两种图像混合像；
4.结果展示：
