Hitachi S—3400N型扫描电子显微镜

发布者:admin4发布时间:2013-08-07作者:浏览次数:3375

1.仪器的基本信息:
仪器名称:扫描电子显微镜
英文名:Scanning Electron Microscope
型号:Hitachi S-3400N
产地:日本
购买时间:2013年
存放地点:微纳加工与生物医学工程中心电镜间
管理人员:张正涛
联系电话:027-84223798转208

2.仪器的用途:
Hitachi S—3400N型扫描电子显微镜,主要用于对材料的微观形貌、组织和成分进行有效分析。

3.仪器的性能指标:
1)分辨率
二次电子探头:≤3.0 nm(在30kV,高真空模式),≤10 nm(在3 kV,高真空模式);被散射探头:≤4.0 nm(在30kV,低真空模式)。
2)加速电压:0.3kV~30kV连续可调。
3)放大倍数:最低倍率5倍,最高倍率300,000倍。
4)真空系统
①具有低真空功能,高低真空切换,不需要安装压差光阑;
②真空度:高真空不低于0.1 mPa;低真空(压力范围):10 Pa—270 Pa;
5)电子光学系统
①电子枪:钨灯丝,具有自动偏压+4级偏压功能;
②聚光镜光阑完全安装在长内衬管内,可自行更换聚光镜光阑。
6)样品室和样品台
①样品台尺寸:装载直径≥200 mm样品;
②样品台(五轴样品台,2轴马达驱动功能);
③ 行程:X=100 mm;Y=50 mm;Z=50 mm;R=3600;T=-20~+900;
6)探测器及成像系统
① 二次电子探测器:二次电子像;高灵敏5分割背散射电子探测器:成分像、形貌像和三维像;
②成像模式:同时得到二次电子像,背散射电子像,两种图像混合像;

4.结果展示: